LSI-VLSI áramkörök felépítése, tesztelése, alkalmazása

TARTALOM
Előszó 9
Bevezetés (Írta: dr. Masszi Ferenc) 11
A mikroelektronika fejlődésének legfontosabb következményei 11
Az integrált áramkörök fejlődése, a fejlődés korlátai 15
A VHSIC program 23
A program célkitűzései 23
A program ütemezése 26
A VLSI dáramkörök megjelensésének hatása az elektronika néhány területére 26
Mikroprocesszorok, mikrogépek 26
Hírközlő rendszerek 29
Igen nagy sebességű áramkörök 31
Irodalom 34
Technológia és konstrukció (Írta: dr. Masszi Ferenc) 35
Nagybonyolultságú integrált áramkörök gyártásának technológiai problémái 35
A szilícium alapanyag 36
Új fotolitográfia 37
Szárazmarási módszerek 39
Újfajta szigetelőrétegek 42
Többrétegű reziszt-technika 42
Lézeres hőkezelés 43
Nemoptikai ellenőrző rendszerek alkalmazása 44
Technológiák, logikaiáramkör-rendszerek bipoláris (V)LSI áramkörökhöz 45
Nagybonyolultságú, bipoláris integrált áramkörök alapelemei 46
I2L áramkörök 50
ECL áramkörök 56
Nagybonyolultságú MOS áramkörrendszerek 58
MOS tranzisztor és nMOS alaptechnológia 58
Rövid csatornájú MOS tranzisztorok 60
MOS digitális alapáramkörök 67
Dinamikus alapáramkörök 76
Speciális MOS tranzisztorok nagybonyolultságú integrált áramkörök számára 83
Nagybonyolultságú integrált áramkörök számítógépes tervezési módszerei 85
Áramkörszimuláció 88
Logikai szimuláció 90
A számítógéppel segített layout tervezés 94
Félvezető tárak 98
Dinamikus MOS tárolócellák 98
töltéscsatoslt (CC) cella 109
Nagykapacitású (Hi-C) cella 110
Többszintes (STC) cella 112
VMOS cella 113
Átszúrásos RAM cellák 114
Eltemetett bitvezetékes (BBL, buried bit line) cella 115
Rétegezett töltésű (SCM, statified charge memory) cella 116
Fokozatosan elvékonyodó szigetelésű, dinamikus erősítésű (TIDG) cella 117
A különböző különleges cellák összehasonlítása 118
Berendezésorientált áramkörök 120
Full custom (egyedi tervezésű) áramkör 121
Library custom (előtervezett cellákból felépített) áramkörök 122
Félkész berendezésorientált áramkörök (semi custtom) 123
VLSI áramkörök tesztelhetőségre tervezése 123
A tesztelhetőség 123
A tesztelhetőség analízise és mérése 124
A tesztelhetőség számítása 124
A tesztelhetőségre tervezés módszerei 129
Önellenőrzés (self verification) 134
Irodalom 135
Tesztelés (Írta: dr. Szamosközi Zoltán) 137
A tesztelés problémaköre 137
Szintek 138
Költségek 139
Módszerek 140
RAM-ellenőrző algoritmusok 142
HIbamodellek 143 143
Lépésszám 145
Realizálhatóság 156
A vizsgálatok összeállítása 158
Fixtárak ellenőrzése 167
Az etalonvizsgálat 170
Tárolt mintás vizsgálat 171
Adatkompressziós módszerek 172
Az adattárolási idő ellenőrzése 179
A módszerek alkalmazása 180
Mikroprocesszorok vizsgálati módszerei 181
Hibaosztályok 182
Mérési stratégia 185
Diagnosztikai tesztek 189
Mintagenerálási lehetőségek 193
Néhány példa 194
A tesztelés ára 198
Az áramkörök gyártási költsége 199
A tesztelési költség modellezése 202
Mintapéldák a tesztelés költségtényezőinek számítása 205
Irodalom 208
LSI-VLSI mérőrendszerek (Írta: dr. Szamosközi Zoltán) 215
Alapkövetelmények és alapstruktúrák 215
Az áramkör és a mérőrendszer-jellemzők kapcsolata 215
A mérési módszerek és a mérőrendszer-jellemzők kapcsolata 218
A mérőrendszerek általános felépítése 219
Univerzális és célorientált mérőrendszerek 222
Általános jellemzők 222
Mintagenerátor 226
Időzítőegység 243
Pinelektronika-vezérlő 262
DC egység 273
Dinamikus paraméterek mérése 279
Számítógép és perifériák 281
Kiegészítő információk 284
Egyszerű teszterek 288
Kiegészítő eszközök 293
Szoftver szolgáltatások 295
Alapszoftver 298
Mérőprogram készítésének támogatása 300
Statisztikai programok 301
Rendszerteszt 302
A megbízhatóságvizsgálat eszközei 303
A megbízhatatlanság okai 305
Burn-in teszterek 308
A hazai eredmények és a szocialista országokból beszerezhető eszközök 314
Az első generáció 315
A második generáció 333
A harmadik generáció 335
Példák megvalósított LSI-VLSI áramkörökre (Írta: dr. Masszi Ferenc) 343
16 bites mikroprocesszorok 343
Az Intel 8086 344
A Zilog Z 8001 és Z 8002 365
Berendezésorientált integrált áramkörök 390
Az U 400 típusú gate array 390
GA 800 típusú gate array 393
Irodalom 399
Tárgymutató 401